更新时间：2026-07-12 19:31:43
求解答，词语「衍射光学元件」是什么意思？再说说衍射光学元件有什么含义？
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
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