更新时间：2026-07-10 11:32:11
求解答，词语「离子束探针」是什么意思？再说说离子束探针有什么含义？
离子束探针，以聚焦很细(1～2微米)的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，聚焦很细，为1～2微米。
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