更新时间：2026-07-12 06:22:24
求解答，词语「直流溅射」是什么意思？再说说直流溅射有什么含义？
直流溅射是指利用直流辉光放电产生的离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术。直流溅射装置主要由真空室、真空系统和直流溅射电源构成。
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