更新时间：2026-07-10 14:14:03
求解答，词语「扩散炉」是什么意思？再说说扩散炉有什么含义？
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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