更新时间：2026-07-13 12:15:49
求解答，词语「聚焦环」是什么意思？再说说聚焦环有什么含义？
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
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